1. (2015高三上·武汉期中) 硅是带来人类文明的重要元素之一，从传统材料到信息材料的发展过程中创造了一个有一个奇迹．

1. （1） 新型陶瓷Si₃N₄的熔点高、硬度大、化学性质稳定．工业上可以采用化学气相沉积法，在H₂的保护下，使SiCl₄与N₂反应生成Si₃N₄沉积在石墨表面，写出该反应的化学方程式．
3. （2） 一种用工业硅（含少量钾、钠、铁、铜的氧化物），已知硅的熔点是1420℃，高温下氧气及水蒸气能明显腐蚀氮化硅．一种合成氮化硅的工艺主要流程如图：

   

   ①净化N₂和H₂时，铜屑的作用是：；硅胶的作用是．

   ②在氮化炉中3SiO₂（s）+2N₂（g）═Si₃N₄（s）△H=﹣727.5kJ/mol，开始时为什么要严格控制氮气的流速以控制温度；体系中要通入适量的氢气是为了．

   ③X可能是（选填：“盐酸”、“硝酸”、“硫酸”、“氢氟酸”）．

5. （3） 工业上可以通过如图所示的流程制取纯硅：

   ①整个制备过程必须严格控制无水无氧．SiHCl₃遇水剧烈反应，写出该反应的化学方程式．

   ②假设每一轮次制备1mol纯硅，且生产过程中硅元素没有损失，反应Ⅰ中HCl的利用率为90%，反应Ⅱ中H₂的利用率为93.75%．则在第二轮次的生产中，补充投入HCl和H₂的物质的量之比是．